微波等離子設備

詳細說明

一、裝備介紹

微波等離子體設備是在常壓或低真空情況下，通過微波等離子發(fā)生器對反應腔內(nèi)工藝氣體，施加微波電磁能量，使氣體產(chǎn)生等離子體，對氣體進行熱解和高度電離，同時特殊氣體經(jīng)過等離子電離后，利用等離子的特性，作用于產(chǎn)品表面，提高表面活性，增加附著性能的目的。微波等離子體設備操作簡單、安全可靠、自動化程度較高。

二、特點

1、一定條件下，能使尾氣高度電離和離解，設備安全可靠；

2、等離子設備氣壓范圍內(nèi)較寬，可獲得氣體的等離子化；

3、無內(nèi)部電極，消除氣體污染和電極腐蝕；

4、氣體微波等離子體化產(chǎn)生不帶高壓，微波輻射易防護；

5、設備自動點火，操作簡單、安全可靠；

6、氣體參數(shù)變化范圍較大，為廣泛應用提供可能性。

三、應用

1、微波等離子火炬技術(shù)，應用于工業(yè)尾氣的處理，及材料高溫燒結(jié)；

2、微波等離子體化學氣相沉積（MPECVD）:制備單晶、多晶金剛石，制備SiC、寶石、切削刀具等；

四、技術(shù)參數(shù)

	WPT3S	WPT15S	WPT25L
輸入電源	三相380V±5% 50HZ	三相380V±5% 50HZ	三相380V±5% 50HZ
額定功率	5kVA	23kVA	32kVA
微波功率	3kW	15kW	25kW
微波頻率	2450MHz	2450MHz	915MHz
外形尺寸（m）	0.8×0.9×1.1	1×1.2×1.5	2×1×1.5
微波輸出功率	1kW~3kW	2kW~15kW	3kW~25kW
反射功率	≤0.2kW	≤0.2kW	≤0.2kW
火炬長度	≥200mm	≥200mm	≥200mm
外焰溫度	≥800℃	≥800℃	≥800℃
氣體壓力	0.3MPa~0.7MPa	0.3MPa~0.7MPa	0.3MPa~0.7MPa
氣體流量	5L/min~100L/min	5L/min~100L/min	5L/min~100L/min
微波泄露	≤5mw/cm²